学科代码 080220
英文名称 MEMS and Nano Technologies
一、研究方向及主要内容简介
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研 究 方 向
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主要内容简介
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微机电系统集成设计与制造技术
（08022001）
Integrated Design and Manufacturing Technology of MEMS
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1．MEMS集成设计技术
2．系统级建模
3．多域耦合分析
4．微加工工艺模拟和工艺设计
5．测量与控制电路技术
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纳米机电系统与纳米机械
（08022002）
NEMS and Nanomachines
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1．纳米机电系统
2．纳米结构的加工技术
3．纳米机电系统的设计、分析与控制技术
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纳米测量与虚拟仪器
（08022003）
Nano Metrology and Virtual Instrument
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1．虚拟仪器检测自动化
2．动态检测与故障诊断技术
3．精密测试与传感器技术
4．纳米检测技术
5．微结构图像测量与处理技术
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微型制造系统及其相关技术
（08022004）
Micro Fabrication System
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1．微型制造系统
2．激光微细加工技术
3．微装配技术
4．微机器人
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微/纳米生物医学信息技术
（08022005）
Micro/nano Technology for Biomedical Engineering
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1．生物医学用微纳米传感器
2．生物医学用微纳米致动器
3．生物医学信息的获取与操纵技术
4．生物芯片
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二、学分及课程学习要求
总学分数28～34，其中公共课8学分，基础理论课至少5学分，专业基础课至少6学分，专业课至少9学分
1．公共课（8学分，必修）
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课程编号
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课 程 名 称
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学时
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学分
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开课学期
|
考核方式
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|
13M001
|
科学技术哲学
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54
|
2.0
|
1，2
|
考试
|
|
13M002
|
科学社会主义的理论与实践
|
36
|
1.0
|
1，2
|
考试
|
|
13M003
|
英 语（一外）
|
144
|
4.0
|
1，2
|
考试
|
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**M900
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专业外语
|
40
|
1.0
|
3
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考试
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注：**M900代表各学院的专业外语必修课（其中**分别代表各学院代号）
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2．基础理论课（在下列课程中至少选5学分）
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课程编号
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课 程 名 称
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学时
|
学分
|
开课学期
|
考核方式
|
|
11M001
|
矩阵论
|
60
|
3.0
|
1
|
考试
|
|
11M003
|
数值分析
|
60
|
3.0
|
1
|
考试
|
|
11M004
|
偏微分方程数值解法
|
60
|
3.0
|
2
|
考试
|
|
11M005
|
数理统计
|
60
|
3.0
|
1
|
考试
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3．专业基础课（在下列课程中至少选6学分，其中A必选）
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课程编号
|
课 程 名 称
|
学时
|
学分
|
开课学期
|
考核方式
|
备注
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|
08M001
|
现代数字信号处理
|
60
|
3.0
|
1
|
考试
|
|
|
11M007
|
光电子技术
|
60
|
3.0
|
1
|
考试
|
|
|
046001
|
功能材料性能与测试
|
40
|
2.0
|
2
|
考试
|
|
|
046007
|
薄膜材料与技术
|
40
|
2.0
|
2
|
考试
|
|
|
056008
|
传感器及测试仪器
|
40
|
2.0
|
1
|
考试
|
|
|
056009
|
信号分析与数字信号处理
|
40
|
2.0
|
2
|
考试
|
|
|
056021
|
现代设计方法
|
40
|
2.0
|
1
|
考试
|
|
|
056059
|
微机电系统导论
|
40
|
2.0
|
1
|
考试
|
A
|
|
056071
|
面向对象技术–原理与设计
|
40
|
2.0
|
1
|
考试
|
|
|
076029
|
流体力学的理论与应用
|
40
|
2.0
|
2
|
考试
|
|
4．专业课（至少选9学分，其中在下列课程中至少选4学分，其余可在全校硕士生课程中任选，并包括2门实验专题课）
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课程编号
|
课 程 名 称
|
学时
|
学分
|
开课学期
|
考核方式
|
|
01S003
|
流体力学测量技术
|
24
|
1.0
|
2
|
考查
|
|
03S002
|
DSP系统实验
|
20
|
1.0
|
2
|
考查
|
|
04S001
|
电子显微分析
|
20
|
1.0
|
2
|
考查
|
|
055031
|
微/纳米检测技术
|
40
|
2.0
|
2
|
考查
|
|
055061
|
生物微机电系统及信息技术
|
40
|
2.0
|
2
|
考查
|
|
055065
|
微机电系统集成设计技术
|
40
|
2.0
|
2
|
考查
|
|
055078
|
微/纳米制造工艺技术
|
40
|
2.0
|
1
|
考试
|
|
056062
|
微小型机器人技术及应用
|
40
|
2.0
|
1
|
考试
|
|
056069
|
微机械传感器
|
40
|
2.0
|
2
|
考试
|
|
08S003
|
基于MatLab的数字信号处理
|
20
|
1.0
|
2
|
考查
|
|
095001
|
新型传感器及其应用
|
40
|
2.0
|
2
|
考试
|
|
09S002
|
单片机实验
|
32
|
1.0
|
2
|
考查
|
|
115011
|
多源信息融合理论及应用
|
40
|
2.0
|
2
|
考试
|
|
115215
|
纳米材料技术与应用
|
40
|
2.0
|
2
|
考试
|
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