清华大学微电子学研究所于1980年9月由中国国家教育部批准建立，位于清华大学校园内。全所现有建筑面积约10000平方米，主要开展微纳电子器件研究及集成电路设计、制造、系统集成技术的开发，具有一条较为完备的集成电路开发与工业性试验线，是国家重点支持的信息科学与技术国家实验室及北方微电子研究开发基地的重要组成部分。
清华大学微电子学研究所科研与教学设施先进，师资力量雄厚，拥有博士生导师13人。从1988年第一次国务院重点学科评选起，成为全国微电子学领域重点学科点。建所廿十多年来，共培养学士千余名，硕士与博士300多名，向社会输送各层次优秀专业人才共计1300多人。近年来又建立了可以完成集成电路相关技术全面教育与培训的优良环境，开展了多种类型学位教育及专项技术培训，取得显著效益。根据学科发展的需要，2004年9月清华大学在微电子学研究所的基础上成立了微电子与纳电子学系，进一步提升了教学与科研水平，成为高素质微纳电子科技人才的培养基地。
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