该专业属信息科学和材料科学的交叉学科专业，拥有我国第一个“真空物理”（现为“物理电子学”）博士点。研究方向为信息薄膜、纳米电子学和电子光学。培养学生从事薄膜物理、信息存储与显示、纳米科学与技术等方面的研究能力。毕业生可在电真空器件、工程薄膜、特种功能材料、纳米电子学等部门进行工作。

　　主要专业课程有真空物理与技术、薄膜技术、表面分析、电子光学、信息材料等以及有关实验。