微电子学与固体电子学学科于1982年被批准建立硕士点，1994年开始招收博士生。1998年被批准建立微电子学与固体电子学博士点，及在“电子科学与技术”一级学科建立博士后流动站。2000年被批准建立“电子科学与技术”一级学科博士点。本学科设有微电子中心和MEMS中心两个科学研究开发实体和一个微电子技术教研室。

　　主要研究方向：

　　集成电路设计方法学与EDA技术：在研究、掌握国际先进EDA技术的基础上，结合电子系统高性能、低功耗、小型化、智能化的需要，开展专用EDA工具研究，同时开展集成电路设计方法学研究，为新一代电子系统芯片（SoC）设计提供技术支持。

　　超大规模集成电路设计：应用SoC和Top-down技术设计高性能、高复杂度数字芯片，开展IP核设计和高性能、全定制数字/模拟芯片设计。

　　固态传感器与MEMS技术：主要开展MEMS CAD技术研究、传感器ASIC接口电路集成技术研究（包括模拟及数模混合集成电路设计）、MEMS多功能传感器技术研究、MEMS微驱动和微执行器技术研究。

　　MEMS SoC技术：包括微流体测控系统和微生化分析系统研究（包括片上实验室、微毛细管芯片、PCR芯片和DNA微阵列等芯片）。

　　微电子器件工艺与材料：主要开展芯片互连及其可靠性分析技术、多芯片组装技术以及特种半导体材料和组件关键技术研究。

　　微波电路与器件技术：包括射频集成电路、射频MEMS、单片微波集成电路及电磁兼容性研究。

　　曾获国家科技发明三等奖1项、国家科技进步三等奖2项，国家科技进步一等奖1项（参加单位），省部级科技进步一等奖2项，省部级科技进步二、三等奖多项。95期间完成国家和省部委重大项目20多项，获省部级奖励10余项。目前承担科研项目35项，包括国家自然科学基金、863、国防预研、国防基础研究等。96年以来，发表学术论文200余篇，其中被SCI、EI、ISTP收录50余篇。

　　现有教授6名、副教授8名，其中博士导师4名、硕士导师10名，另有国内外兼职教授9名。

　　导师名单：叶以正*、毛志刚*、李乐伟*、肖立伊*、刘晓为*、吴群*、王东红、杨晶琦、王进祥、蓝慕杰、喻明艳、陈伟平、来逢昌、肖立伊

　　注：带“*、”的为博士导师