课程名称（中文）：传感器技术学分数：2学分
课程名称（英文）：Technology of Sensors课内学时数：32（最低要求）上机（实验）时数：4小时
课外学时数：4 （最低要求）教学方式：课堂授课＋（上机、实验）
教学要求：
传感器技术为机械类、机电类以及电气类专业技术基础课程，在学习该课程前，应完成或选修完工程力学、机械原理、电子技术基础等基础课程的学习任务。
课程内容简介（500字以内）：
讲述传感器基本定义与组成、传感器主要静态特性分析、动态特性分析方法（时域和频域动态特性）、传感器材料和弹性元件设计、传感器制作工艺技术、应变式传感器、新型压力传感器技术与原理（包括高过载技术、高频响技术以及耐高温技术等）、MEMS加速度传感器设计、惯性测量单元中的微陀螺结构和原理、常用多传感器集成技术、微力微位移传感器技术。
课程大纲（具体到章、节、小节）：
第一章 传感器定义及发展趋势2学时
1．1传感器定义及在工程技术中的地位和作用
1.1.1传感器定义
1.1.2传感器的地位和作用
1．2新型传感器技术及发展趋势
1.2.1 新型传感器技术
1.2.2 传感器发展趋势
第二章 传感器基本特性4学时
2．1传感器静态特性
2.1.1传感器线性度、重复性、迟滞、零位误差
2.1.2静态特性数据处理技术
2．2传感器动态特性
2.2.1时域内动态数据处理
2.2.2频域内动态处理技术。
2.2.3传感器的冲击响应、阶跃响应以及频率响应的特征。
第三章 传感器材料和弹性元件结构2学时
3．1常用传感器的材料
3．2传感器弹性元件设计
第四章 应变式传感器4学时
4．1应变效应及应变式传感器的原理
4.1.1应变效应
4.1.2应变式传感器的原理
4．2应变式传感器与弹性元件设计
4.2.1应变式加速度计
4.2.2位移传感器
4.2.3力学量传感器的设计的基本要求。
第五章 压阻式传感器4学时
5．1压阻效应及压阻式传感器的组成
5.1.1压阻效应
5.1.2压阻传感器组成
5．2MEMS压力传感器的加工、封装及测量技术
5.2.1 压力传感器工艺
5.2.2封装与测试技术
5.2.3 SOI压力传感器技术
第六章MEMS加速度传感器设计4学时
6．1MEMS加速度传感器
6.1.1 MEMS加速度传感器原理
6.1.2 MEMS加速度传感器组成
6．2压电式加速度传感器结构原理
6.2.1 压电传感器原理
6.2.2 压电传感器组成
6．3加速度传感器高过载技术与高g值测量技术和方法
6.3.1 高过载加速度技术
6.3.2高过载加速度计常用方法和技术
第七章微陀螺结构和原理4学时
7．1 角位移测量技术和原理
7.1.1陀螺效应
7.1.2陀螺传感器原理
7.1.3陀螺传感器组成
7．2微陀螺传感器的设计与制作工艺技术
7.2.1 微陀螺传感器设计
7.2.2 陀螺制造工艺
7．3 IMU单元测量电路分析
7.3.1 惯性测量的定义
7.3.2 惯性测量单元组成
7.3.3常用惯性测量电路
第八章 传感器集成技术4学时
8．1传感器集成技术中结构特征设计
8.1.1多传感器集成意义与趋势
8.1.2多传感器集成技术
8．2多参数测量与耦合分析
8．3常用多传感器集成芯片设计与举例（包括压力、温度、加速度与湿度等传感器的典型结构设计和方法）
第九章微力微位移传感器技术4学时
9．1微牛级力学量传感器结构与原理
9.1.1 常用微力传感器原理
9.1.2 微力传感器结构和方法
9．2微纳米级位移量传感器结构与原理
9.2.1 微位移传感器原理
9.2.2 微位移传感器结构和组成
参考教材名称：陶家渠主编：《硅微机械传感器》北京：宇航出版社。
主要参考书：
1）李科杰，《新编传感器技术手册》，北京，国防工业出版社，2000年；
2），宋文续，杨帆，传感器与检测技术，北京，高等教育出版社，2004；
3）代课老师正在着手编写《传感器技术》，2007年出版。
预修课程（最低要求）：工程力学（或理论力学、材料力学），机械原理，电子技术基础。
适用专业：机械工程、机械电子工程、测控仪器工程以及电子工程等。
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